Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference (한국정보처리학회:학술대회논문집)

  • 2020.05a
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  • Pages.368-371
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  • 2020
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  • 2005-0011(pISSN)
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  • 2671-7298(eISSN)
Korea Information Processing Society (한국정보처리학회)
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DEVS Based OHT System Simulation Design

DEVS 기반 OHT 시뮬레이션 시스템 설계

  • Lee, Bok-Ju (Dept. of Computer Science, Korea University of Technology and Education) ;
  • Kang, Bong-Gu (Korea Institute of Industrial Technology) ;
  • Kwon, Yong-Hwan (HUMINTECH Co., Ltd.) ;
  • Choi, Young-Kyu (Dept. of Computer Science, Korea University of Technology and Education) ;
  • Han, Kyung-Ah (LINC Foundation, Korea University of Technology and Education) ;
  • Seo, Kyung-Min (Dept. of Future Technology, Korea University of Technology and Education)
  • 이복주 (한국가술교육대학교 컴퓨터공학과) ;
  • 강봉구 (한국생산기술연구원) ;
  • 권용환 ((주)휴민텍) ;
  • 최영규 (한국가술교육대학교 컴퓨터공학과) ;
  • 한경아 (한국기술교육대학교 LINC+ 사업단) ;
  • 서경민 (한국기술교육대학교 융합학과)
  • Published : 2020.05.29
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Abstract

반도체 제조시설의 효율성을 위해 대부분의 현장에서는 물류 자동화 시스템 (AMHS, Automated Material Handling System)을 도입하여 운영하고 있다. OHT(Overhead Hoist Transfer)는 반도체 공정에서 주로 활용되는 Monorail 컨베이어 형태의 자동 반송 시스템의 일종으로 작업물을 들고 제조라인 위에 설치된 레일을 따라 자율적으로 이동하는 방식으로 운영된다. 도체 물류 시스템의 계층적인 구조적 특징과 고가의 재료를 다루고, 외부유출이 어려운 실제 공정 현장, 실험 환경의 시간, 공간적 구축 등의 현실적 특징 때문에 반도체 제조 공정의 자동화 물류시스템에 대한 모델링 및 시뮬레이션을 통한 연구의 필요성이 대두되고 있다. 본 논문에서는 OHT를 효율적으로 제어하기 위해 DEVS(Discrete Event System Specifications) 형식론을 기반으로 OHT 시스템 모델링 및 시뮬레이션 설계 방법을 제안한다. 이를 위해 반도체 제조 시스템의 전반적인 물류 과정에 대해 분석하고, DEVS 형식론에 대해 연구하며, 이를 바탕으로 반도체 물류 시스템을 위한 모델링 및 시뮬레이션을 설계하였으면, 실험을 통해 제안된 모델리 반도체 물류 시스템 시뮬레이션을 수행할 수 있음을 보인다.

Keywords