대한전자공학회논문지 (Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics)
- 제26권6호
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- Pages.48-56
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- 1989
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- 1016-135X(pISSN)
팩시밀리용 비정질 실리콘 광도전막의 제작 및 특성
Fabrication and Characteristics of Photoconductive Amorphous Silicon Film for Facsimile
- Kim, Jeong-Seob (Dept. of Elec. Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Oh, Sang-Kwang (Dept. of Elec. Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Kim, Ki-Wan (Dept. of Elec. Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Lee, Wu-Il (Dept. of Elec. Eng., Kyungpook Nat'l Univ.)
- 발행 : 1989.06.01
초록
밀착형 1차원 영상감지소자로서 팩시밀리에 사용될 광도전막을 사일랜듸 글로방전 분해법으로 제작하였다. 우선 rf전력, 사일랜유량, 분위기 가스압,
Contact-type linear image sensors for facsimile have been fabricated by means of rf glow discharge decomposition method of silane. The dependence of their electrical and optical properties on rf power,
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