전기의세계

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

반도체 소자에서의 전자장 수치해석

  • 강영태 (삼성전자 반도체연구소 MOS DVC연구원) ;
  • 김태한 (삼성전자 반도체연구소 DVC연구부) ;
  • 황창규 (삼성전자 반도체연구소)
  • Published : 1990.03.01
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Abstract

반도체 내에서의 전자장 해석을 위한 Maxwell방정식의 단순화, 반도체 방정식의 전개, 물리적인 모델링, 수치해석 기법, 응용분야 및 차세대 반도체 기술 개발을 위한 device simulation 기술등을 review하였다. Poisson방정식의 고유한 quasi-static apporximation을 고찰하였으며, Drift 확산식의 유효성 범위를 증가시키기 위하여 각 물리적인 모델들을 review하였다. 반도체 수치해석에서 빈번히 사용해온 F.D.M.F.E.N.및 B.E.M기법의 장단점과 각각으 수치해석 기법을 이용한 Simulation tool들을 언급하였다. 또한 현재의 반도체 기술과 차세대 반도체 memory기술을 위한 Simulation의 응용분야 및 3차원 Simulation에 필요한 기본적인 tool의 조건을 언급하였다.

Keywords