Theoretical Analysis of Buffer Gas Effects of a Discharge Excited KrF Laser

방전여기 KrF 레이저의 완충가스 영향에 대한 이론 해석

By developing a computer simulation code for discharge excited KrF excimer laser, we analyzed mainly the effects of buffer gas for the $KrF^*$ formation. the $KrF^*$ relaxation. and the absorption of the laser radiation. The $KrF^*$ formation efficiency were found to be 7.5%, 19% and the $KrF^*$ relaxation kinetic reactions were found to be 45%, 30% at the charging voltage of 30 KV and He. Ne buffer gas. respectively. But the absorption of the 248 nm laser radiation were less than 10% by the buffer gas.er gas.

방전여기 방식의 KrF 엑사이머 레이저의 컴퓨터 시뮬레이션 프로그램을 개발하여 방전 중의 $KrF^*$ 형성, 탈여기 및 흡수반응 등에 대한 완충가스의 영향에 관해 해석하였다. He 가스와 Ne 가스의 경우 $KrF^*$ 생성효율은 각각 7.5%, 19%였으며, $KrF^*$ 탈여기는 충전전압 30kV에서 각각 45, 30%의 비율을 차지하였다. 그러나 흡수과정에서는 완충가스의 영향이 10% 이하였다.