Comparison of laser electrodes for efficient uniform disharge

효율적 균일 방전을 위한 레이저 전극 형상 비교

Calculation and comparison of the design parameter between Chang and Ernst profile that can be used for the uniform discharge in excimer or TEA $Co_2$ laser are carried out. This result can be used to establish the initial $\kappa$-value in the design of electron. Also, calculation shows that Ernst profile is 2-3 times superior to Chang profile in uniformity of electric field with respect to the same k-value ($0.001\le\kappa\le0.25$).

엑시머 레이저나 TEA $Co_2$ 레이저로응용되는 균일 방전을 위한 전극 형상 설계에 중됴한 k 값과 전극의 크기에 고려되는 최소 허용 전기장의 위치와의 관계를 Chnag 형상과 Ernst 형상에 대해 각각 계산, 비교하였다. 이 결과는 전극 형상 설계에 있어서 초기 k 값 설정에 도움표를 제공한다. 전극 표면에서 각각의 전기장 세기를 비교하여 Ernst 형상이 Chang형상보다 2배내지 3배 정도로 균일 전기장 분포가 넓게 설계될 수 있음을 보였다.