Characteristics of silver ion-exchanged glass waveguides at 633nm and $1.5{\mu}m$

은 이온 교환법으로 만든 유리 도자로의 633nm와 $1.5{\mu}m$에서의 특성 연구

Silver ion-exchanged glass waveguide with its large surface index difference and shallow depth is suitable to be used for the hybrid integration of semiconductor device and glass waveguide using the semiconductor film grafting technique. We report characteristics of the planar and channel glass waveguides exchanged in the diluted silver nitrate melt in the visible and infrared spectral region. Especially, we determined the fabrication parameters for single-mode channel waveguide at 1.5.$\mu$m, an important wavelength in the optical communication. Directional couplers with several different configurations were fabricated, and their 3 dB coupling length was determined as a function of wavelenGh and polarization.

은 이온 교환법으로 만든 유리 도파로는 표면 굴절율 차가 크고 도파로 깊이가 얕기 때문에 반도체 박막 이식법을 이용한 반도체 소자와 유리 도파로의 혼성 집적에 사용되기에 적합하다. 이 노문은 묽게한 잘산화은 용액에서 이온 교환으로 만들어진 평면 및 채널 유리 도파로의 가시광선 및 적외선 파장영역에서의 특성을 보고한다. 특히 광통신에 중요한 파장인 1.5.$\mu$m에서의 단일 모우드 채널 도파로의 제작 조건을 결정하였다. 또한 여러가지 다른 구성 형태의 방향성 결합기가 제작되어 파장과 편광 방향에 따른 3dB 결합 길이가 결정되었다.