Electronics and Telecommunications Trends (전자통신동향분석)

Electronics and Telecommunications Research Institute (한국전자통신연구원)
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펄스 레이저를 이용한 고온 초전도박막 증착의 레이저-타깃 반응 기구

  • Published : 1992.10.01
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Abstract

본 고에서는 $YBa_2Cu_3O_7_x$ 고온초전도 물질의 박막제조에 있어서 현재 가장 각광을 받고 있는 펄스 레이저 증착공정의 원리, 특징등을 살펴보았다. 특히, 이 공정에서 입사 레이저와 고체 타깃간의 상호작용으로 인한 플룸의 발생, 물질의 방출, 기판상의 증착 등과 관련된 반응기구를 중점적으로 기술하였다.

Keywords