Fabrication and Output Characteristics of Compact Capacitor Transfer XeCl Laser

용량이행영 소형 XeCl레이저 제작 및 출력특성

  • 김동환 (한국과학기술연구원, 응용물리연구실)
  • Published : 1993.05.01

Abstract

Small XeCl laser of charge transfer discharge excitation was fabricated and output charateristics were investigated according to gas mixture ratio. Beam cross section of 2.7cm${\times}$1.5cm was obtained by constructing excimer laser which preionization is operated automatically and which has chang profile electrode. According to the component gas mixture ratio, the condition of maximum output energy, efficiency were investigated. The maximum energy, efficiency and specific energy were obtained 230 mJ, 1.6% and 1.1 J/l, respectively. The long pulse effect is observed by constructing low peaking to main capacitance ratio of 1:3.

용량 이행형 방전여기에 의한 소형 XeCl레이저를 제작하고, 가스 혼합비에 따른 출력특성을 조사하였다. 내자형 capacitor에 의한 자동 예비전리 방식과 2.7 cm 간격의 Chang형상으로 가공된 전극구조의 레이저를 구성하여 2.7cm${\times}$1.5cm 크기의 출력 빔을 얻었고, Xe과 HC1의 농도 변화 및 완충 기체의 종류에 따른 최대 출력 에너지 및 최대 효율 조건을 조사하였다. 최대 레이저 펄스 에너지는 Ne 완충기체를 사용시 230mJ이며, 단위 방전 체적당 1.1 J/l의 에너지를 얻었으며, 최대 에너지 효율은 1.6%이었다. 1:3의 낮은 비율의 피-킹 캐패시턴스의 구성에 의해 레이저 펄스폭은 장펄스 효과를 나타내 foot-to-foot 200 ns로 측정되었다.

Keywords