한국광학회지 (Korean Journal of Optics and Photonics)
- 제4권3호
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- Pages.260-265
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- 1993
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- 1225-6285(pISSN)
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- 2287-321X(eISSN)
$TiO_2$ 박막의 두께에 따른 실시간 스트레스 측정에 관한 연구
In-situ Measurements of the Stress in $TiO_2$ Thin Films
초록
실시간(in-situ) 스트레스측정 간섭계를 사용하여 이온보조증착에 의해 Ti
An in-situ stress measurement interferometer is constructed and used to measure the intrinsic stress in Ti
키워드