Sinterability of MgO added mullite based ceramic substrates

MgO첨가 Mullite질회로기판의 소결성

1150, 1450, 1600.deg.C에서 MgO-SiO$_{2}$-Al$_{2}$O$_{3}$계를 유리성분으로 하는 mullite-glass질 회로기판재료의 소결거동에 미치는 MgO첨가량과 소성시간에 따른 영향을 조사하였으며 주로 소성시간이 밀도, 기공분포, 미세구조 및 생성상에 미치는 영향을 조사하였다. 1150.deg.C에서는 MgO의 첨가량에 관계없이 소결이 진행되지 않았으며 1450.deg.C에서는 MgO첨가량에 따라 소결속도가 증가하였다. 1600.deg.C에서는 각조성의 시료 모두가 빨리 과소성단계에 도달하였다. 1450.deg.C에서는 MgO 0.85% 첨가했을때 소성시간에 따라 기공량은 감소하는 반면 기공경은 일정하게 증가하였다. 먼저 .alpha.-SiO$_{2}$가 cristobalite로 전이한 후에 MgO와 반응하여 유리상으로 된다.