Characteristics of Quadrupole Mass Spectrometer for Partial Pressure Measurement in CO-$H_2$ Gas Mixture

CO와 $H_2$ 혼합기체에 대한 Quadrupole Mass Spectrometer의 감도 특성

Quadrupole mass spectrometer는 부분압 측정 및 잔류기체 분석에 널리 이용되고 있는 장비이다. CO, H2, Ar이 혼합되어 존재할 때 quadrupole mass spectrometer의 감도를 10-4∼10-8torr영역에서 측정하고 단일기체로 존재할 때의 감도와 비교하였다. 그 결과 일정한 부분압을 유지하고 있는 경우라도, 주위 분위기 기체 종류와 부위기 기체 압력에 따라 감도 별화가 심한 것을 알 수 있었다. 따라서 QMS를 부분압 측정이나 조성분석에 이용하기 위해서는 이에 대한 특성조사가 반드시 필요하다.