CCD Scanning type MTF Measuring System for Microlens Arrays

CCD를 이용한 미세렌즈의 MTF 측정

  • 이윤우 (한국표준과학연구원 광학그룹) ;
  • 조현모 (한국표준과학연구원 광학그룹) ;
  • 이인원 (한국표준과학연구원 광학그룹) ;
  • 박태호 (한국표준과학연구원 광학그룹) ;
  • 윤성균 (한국표준과학연구원 광학그룹) ;
  • 서형원 (삼성코닝㈜연구소)
  • Published : 1994.09.01

Abstract

Real-time MTF measuring system for testing microlens arrays with a linear CCD array is developed. The spread function of slit image that is relayed and magnified by a microscopic object lens can be measured at several times in a second. The signal uniformity and MTF of CCD is also calibrated. The experimental result of micro lens arrays developed for contact image sensor is presented.sented.

미세렌즈 배열의 실시간 분해능 평가를 위하여 CCD를 이용한 MTF 측정장치를 제작하였다. 현미경 대물렌즈로 상을 확대한 후 CCD를 사용하여 직접 광세기 분포함수를 측정하였으며 사용된 CCD의 화소 크기와 간격, 그리고 감도의 균질성 등을 고려하여 측정한 MTF를 보정하였다. 마이크로 컴퓨터를 사용하여 측정자동화 하였으며 자세한 보정방법과 측정장치에 대하여 설명하였다.

Keywords