Low temperature solution growth of silicon on foreign substrates

이종기판을 사용한 저온에서의 실리콘 박막 용액 성장법

  • Soo Hong Lee (Energy/Environment Lab., Materials & Device Research Center, Samsung Advanced Institute of Technology, Suwon 440-600, Korea) ;
  • Martin A. Green (Center for Photovoltaic Devices and Systems, University of New South Wales, Kensington, N.S.W. 2033, Australia)
  • Published : 1994.03.01

Abstract

Deposition of silicon on pretreated sapphire and glass substrates has been investigated by the solution growth method at low temperatures. An average 14 $\mu\textrm{m}$ thickness of silicon was grown over a large area on sapphire substrate originally coated with a much thinner silicon layer [0.5 $\mu\textrm{m}$ (100) Si/(1102) sapphire)] at low temperatures from $380~460^{\cire}C$. Successful results were obtained from surface treated glass substrates in the temperatures range from $420~520^{\circ}C$.

금 비스무스 용매를 사용하여 실리콘 박막을 사파이어, 보로실리케이트 그라스 기판상에 성장시켰다. 사파이어의 경우 $380~460^{\cire}C$ 에서 14 $\mu\textrm{m}$ 두께의 실리콘막이 성장되었으며, 그라스 기판의 경우 $420~520^{\circ}C$ 온도 범위에서 수백 $\mu\textrm{m}$ 사이즈의 큰 결정립이 형성되었다. 이결과는 저가의 박막태양전지를 제조하는데 응용될 것으로 사료된다.

Keywords