Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology (한국결정성장학회지)

The Korea Association of Crystal Growth (한국결정성장학회)
권호 표지

Automatic diameter control system for Czochralski growth

자동직경제어 Czochralski 성장장치의 제작

  • Han, J.Y. (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
  • Park, S.S. (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
  • Lee, S.K. (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
  • Ma, D.J. (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
  • Kim, Y.H. (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
  • Lee, S.H. (Samsung Advanced Institute of Technology)
  • 한재용 (삼성종합기술원) ;
  • 박성수 (삼성종합기술원) ;
  • 이성국 (삼성종합기술원) ;
  • 마동준 (삼성종합기술원) ;
  • 김용훈 (삼성종합기술원) ;
  • 이상학 (삼성종합기술원)
  • Published : 1994.12.01
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Abstract

We developed a computer controlled Czochralski puller which automated entire crystal growing processes. Crystal weighing technique was employed for an automatic diameter control. The performance of the system was evaluated by the growth of $LiNbO_3$ single crystals.

무게 측정에 의한 자동 직경 제어 방식의 Czochralski 단결정 성장 장칭를 제작하였다. 성장로의 몸체와 hot zone을 자체 설계, 제작하였으며, computer에 의하여 전자저울과 유도가열장치를 자동 제어하므로써 가열 공정에서 부터 냉각 공정까지의 모든 과정을 자동화시킬 수 있는 program을 개발하였다. 제작된 성장장치를 사용하여 $LiNbO_3$ 단결정을 성장시켜 성장 장치의 성능을 평가 하였다.

Keywords