초록
고보자력의 새로운 수평자기기록용 매체를 개발하기위해서 Co-P/Cr과 Co-P-Cr/Cr박막의 자기적 특성을 연구함였다. 상온데서 성막된 Co-P 이원합금의 경우 P의 함량이 9-12 at.%에서 835 Oe의 보자력을 나타내었다. Co-P 이원합금의 경우 P의 함량이 9-12 at.%에서 기판온도가 높을수록 보자력은 오히려 감소하였으며, 이것은 Co-P단일상이 Co와 $Co_{2}P$상으로의 분해에 기인하는 것으로 판단되낟. 그러나 P을 12 at.%이상으로 첨가하면 비정질상의 형성으로 보자력은 급격히 감소하였다. Co-P-Cr 삼원합금박막의 보자력은 Cr 함량이 증가함에 따라 증가하여 상온에서 성장한 $Co_{84}P_{10}Cr_{6}$의 박막에서 1020 Oe의 높은 보자력을 얻을 수 있었다.
In order to develop new magnetic media with higher coercivity, we have investigated the magnetic properties of Co-P/Cr and Co-P-Cr/Cr films. The coercivity of Co-P binary films deposited at RT was around 835 Oe in the range of 9-12 at.% P. In the Co-P binary system coercivity decreased with increasing substrate temperature for P contents of 9-12 at.%, which may be due to the decomposition of Co-P single phase to Co and $Co_{2}P$ phase. However, the coercivity of the films containing more than 12 at.% P is very low due to the formation of amorphous phase. The coercivity of Co-P-Cr ternary films increased with increasing Cr contents and reached the maximum value of 1020 Oe in the water $Co_{84}P_{10}Cr_{6}$ Film.