Abstract
Microwave Detector Using $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$, Grain Boundary Junction $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$ superconductor thin films were deposited on $LaAIO_{3}$ (100) single crystal substrates using a metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) method. These films showed the critical temperature of about 9OK and critical current density of over $10^5/A \textrm{cm}^2$at 77K. These films showed granular structure with 0.5~1.5$\mu \textrm{m}$ grains. Bridge-type junctions, 6$\mu \textrm{m}$ in width and 6pm in length, were fabricated using the photolithography and the Ar ion milling techniques. Current-voltage (I-V) characteristics of these junctions with the microwave irradiation at 77K were studied. The critical current densities decreased as the irradiated microwave power increased. When microwaves were irradiated on the bridge at 77K. the I-V charateristics showed constant voltage stcp(Shapiro steps) at $\Delta$=nho/2e.
$YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$결정입계 접합을 이용한 마이크로파 감지소자 $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$초전도체 박막을 화학증착법을 이용하여 $LaAIO_{3}$단결정 위에 증착하여 임계온도 90K이상 임계전류밀도 $10^5/A \textrm{cm}^2$(77K) 이상의 우수한 박막을 제작하였다. 이를 포토작업과 이온밀링을 실시하여 수 마이크로미터 크기의 브릿지 형태로 만든 후 이들의 전류전압 특성을 조사하였다. 브릿지에 입사된 마이크로파의 크기에 따라 브릿지 간의 임계전류값의 저하가 관찰되었으며 동시에 샤피로스텝을 관찰할 수 있었다.
