Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 3 Issue 3
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- Pages.309-315
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- 1994
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- 1225-8822(pISSN)
Performance of $(Bi, Sb)_2 (Te, Se)_3$ Thin Film Thermoelectric Modules
$(Bi, Sb)_2 (Te, Se)_3$ 열전박막소자의 작동특성
Abstract
순간증착법으로 p형(Bi0.5Sb1.5Te3)과 n형(Bi2Te24Se0.6)열전박막을 제조하여 상온에서 Seebeck 계 수, 전기전도도 및 열전성능지수를 측정하였다. 또한 금속재 mask를 이용하여 다중접점 박막형 열전소 자를 제작하고 그 작동특성을 조사하였다. 이때 소자의 고온부와 저온부의 온도를 직접측정하기 위하여 copper/constantan 박막을 접점부에 증착하여 열전쌍이 되게 하였다. p/n 접점이 5쌍이 소자의 경우 Peltier 효과에 의해 생성된 최대온도차는 22K이었다.
Keywords