Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A Study on the Characteritics of inductively Coupled Plasma by Numerical Simulation

수치해석에 의한 유도결합 플라즈마의 특성연구

  • 김윤택 (한국전기연구소 플라즈마응용 연구팀) ;
  • 노영수 (한국전기연구소 플라즈마응용 연구팀) ;
  • 이홍식 (한국전기연구소 플라즈마응용 연 구팀) ;
  • 황기웅 (한국전기연구소 플라즈마응용 연구팀)
  • Published : 1994.12.01
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Abstract

유도결합 플라즈마의 해석식으로 양극성 확산, 정상상태를 가정한 확산식, 열평형식과 변위전류 를 무시한 맥스웰 식을 사용하였다. 해석기법으로는 유한 차분법과 적분법을 축대칭 2차원(R, Z)모델에 적용하였다. 유도 결합 플라즈마장치의 RF 전력, 압력, 석영창 두께, 차폐부 높이에 따른 전자온도, 전자 밀도, 등가 정항 등가 인덕턴스 효율 결합계수 K, Q-factor의 변화를 구하였다. 특히 등가정항은 진공챔 버, 차폐부 및 코일의 손실저항을 고려하여 구하였다.

Keywords