Abstract
Ultrafine TEX>$Al_2O_3$ powders were prepared from $AlCl_3$ and $Al_2(SO_4)_3$3 by using inductively coupled plasma (lCP) of ultrahigh temperature (above 5000 K) in heat source. The prepared $Al_2O_3$ powders had ${\alpha} - group ({\alpha}, {wdelta} ;and; {\theta})$ phase, a narrow size distribution and around 20 nm in meansize. It could be suggested that gas - solid reaction growth and interparticle sintering occured at the center of ICP tail flame (X = 500 mm) through the results of deposited aggregates - flock, whisker and platy on MgO polycrystal plate. And the formation mechanism of $Al_2O_3$ powders In spray - ICP reactor were described from upper results.
초고온(5000K 이상)의 고주파 유도 플라즈마(ICP)를 열원으로 사용하여 $AlCl_3$와 $Al_2(SO_4)_3$로부터 $Al_2O_3$ 초미세분말을 합성하였다. 각각 합성된 $Al_2O_3$ 미분말의 결정상은 모두${\alpha} - group({\alpha}, {wdelta}, {\theta})$의 상이었으며, 평균입경 20 nm 내외의 좁은 입도 분포를 가지는 미분말이 형성되었다. ICP tail flame 중간부(X = 500 mm)에서 MgO polycrystal plate위에 부착된 응집플록, whisker 및 판형의 형태를 통 해 기상-고상반응에 의한 성장과 입자간 소결현상을 제안 할 수 있었다. 그리고 위의 결과들로부터 spray-ICP 반응기 내에서의 $Al_2O_3$미 분말 형성과정을 제안하였다.