자성막의 고주파 투자율 측정

High Frequency Permeability Measurement of Magnetic Films

고주파(100 kHz-200 MHz)에서 자성막의 초투자율을 측정하기 위해 가장 많이 사용하고 있는 8자 coil법과 이의 개량형인 s-parameter법을 소개하고 두 방법을 비교하였다. s-parameter법을 사용하여 투자율 측정기를 제작하고 투자율 측정시 발생할 수 있는 문제점 및 해결 방안을 제시 하였다. 측정용 program을 제작하여 단순한 button 조작 으로 빠른 시간 내에 자성막의 투자율을 측정할 수 잇었으며 감자장(demagnetizing field)을 고려하여 정확한 투자율을 계산 하였다. 이 투자율을 측정기를 사용하면 100 kHz-200 MHz 대역에서 최소 약 $1\mu\textrm{m}$ 정도의 permeance 까지 측정 가능하였다.

We introduced and compared the two methods, 'figure-8 coil method' and 's-parameter method', to measure high frequency permeability of magnetic films. We made a permeameter by using s-parameter method and discussed about problems and solutions in measuring permeability. We can measure the permeability rapidly and exactly up to 200 MHz with the aid of computer program and the low level permeance detection limit is about $1\mu\textrm{m}$.