초록
Transfer matrix를 사용하여 $TiO_{2}$ 및 Ag 단일 박막과 $TiO_{2}/Ag/TiO_{2}$ 다층 박막의 두계에 따른 투과도 특성을 예측하였으며, 이를 실제 스퍼터 증착하여 제조한 박막의 광학 특성과 비교하였다. $TiO_{2}$ 및 Ag 박막에서는 복소굴절률을 사용하므로써 실제 증착박막에서 측정된 특성과 근접한 투과도 곡선의 예측이 가능하였다. $TiO_{2}/Ag/TiO_{2}$ 3층 박막의 광학 특성은 Ag의 $TiO_{2}$층으로의 확산 및 응집에 의해 transfer matrix로 예측한 투과도 특성과 전혀 다른 거동을 나타내었다. 그러나 4nm 및 6nm 두계의 Ti 박막을 확산방지층으로 증착한 Ti$O_{2}$/Ti/Ag/Ti/Ti$O_{2}$ 구조의 5층 박막에서는 transfer matrix를 사용하여 예측한 $TiO_{2}/Ag/TiO_{2}$ 3층 박막의 투과도 곡선과 유사한 광학 특성을 얻을 수 있었다.
Optical properties of $TiO_{2}$. Ag filrns and $TiO_{2}/Ag/TiO_{2}$ multilayer filrns with different thickness were predicted using the transfer matrix, and these results were compared with real transmittance curves of the sputterdeposited films. With the complex refractive indices, it was possible to predict transmittance characteristics which were close to real data for $TiO_{2}$ and Ag films. Due to the diffusion and agglomeration of Ag during $TiO_{2}$ deposition, optical properties of the sputterdeposited $TiO_{2}/Ag/TiO_{2}$ films were found to be very different from the transmittance curves predicted using the transfer matrix. Using deposition of 4nm-thick or 6nm-thick TI layers as a diffusion barrier, however, the transmittance curves of $TiO_{2}/Ti/Ag/Ti/TiO_{2}$ five-layer films became similar to ones predicted for $TiO_{2}/Ag/TiO_{2}$ threeiayer films.
