한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

  • 제5권4호
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  • Pages.389-396
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  • 1995
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  • 1225-0562(pISSN)
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  • 2287-7258(eISSN)
한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

다결정 CdTe 박막의 열처리에 따른 물성 변화에 관한 연구

Effects of Heat Treatments on the Physical Properties of Polycrystalline CdTe Thin Film

  • 김현수 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 신성호 (국립공업기술원 무기화학과) ;
  • 박정일 (국립공업기술원 무기화학과) ;
  • 박광자 (국립공업기술원 무기화학과)
  • 발행 : 1995.06.01
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초록

본 논문에서는 전자빔증착법에 의해 제조된 다결정 CdTe 박막의 구조적, 광학적 특성을 연구하였으며 특히 기판온도와 증착후 열처리에 따른 박막의 결정성변화를 관찰하고 그 결과를 고찰하였다. ITO와 유리위에 25~16$0^{\circ}C$의 기판온도로 증착된 CdTe 박막의 결정구조는 zinc blende 구조를 보이고 <111> 방향으로의 우선 성장방향을 나타내었다. 증착후 열처리를 함에 따라 결정립이 성장하고 정량적 CdTe로 접근하고 상온에서 band gap 이 단결정의 값인 1.5eV에 가까운 에너지로 천이하며 결정성이 향상됨을 관찰할 수 있었다. 이러한 열처리에 의한 결정성 향상은 PL과 XRD를 통하여 분석한 결과 재료내 존재하는 과잉 Te가 열처리시 증발함에 따라 격자내 응력이 감소함과 관련이 있음을 알 수 있었다.

키워드

참고문헌

  1. Solar Energy Materials and Solar Cells v.27 D.Coiante;L.Bara
  2. MRS BULLETIN no.October T.Suntola
  3. Thin Solid Films v.193/194 N.G.Dhere
  4. Technical Digest of the International PVSEC-7 C.Ferekides;J.Britt
  5. PHOTONICS SPECTRA no.December P.F.Gerhardinger
  6. J. of Electron. Material v.22 R.H.Bube;K.W.Mitchell
  7. J. of Electron. Materials v.11 T.C.Antony;A.L.Fahrenbruch;R.H.Bube
  8. Solar Cells v.21 J.P.ponpon
  9. Technical Digest of the International PVSEC-7 M.H.Patterson;A.K.Turner;m.Sadeghi;R.J.Marshall
  10. J. Appl. Phys. v.70 T.L.Chu;S.S.Chu;C.Ferekides;C.Q.Wu
  11. Solar Energy Materials and Solar Cells v.28 S.K.Das;G.C.Morris
  12. Thin Solid Films v.214 J.Touskov$\'{a}$;D.Kindl;J.Kovanda
  13. Solr Energy Materials and Solar Cells v.29 S.K.Das
  14. J.J. Appl. Phys. v.29 H.Uda;S.Ikegami;H.Sonomura
  15. J. Electrochem. Soc. v.110 R.Gland;J.G.Kren;W.J.Patrick
  16. Proc. 22nd IEEE Photovoltaic Specialists Conf. D.A.Fardig;J.E.Phillips
  17. J.J. Appl. Phys. v.22 H.Uda;A.Nakano;K.kuribayashi;Y.Komatsu;H.Matsumoto;S.Ikegami
  18. Thin Solid Films v.55 N.Romeo;G.Sberveglieri;L.Tarricone
  19. J. Vac. Sci. Technol. v.15 A.Amith
  20. J. Appl. Phys. v.52 H.Jager;F.Seipp
  21. J. Electrochem. Soc. v.139 T.L.Chu;S.S.Chu;N.Schultz;C.Wang;C.Q.Wu
  22. The RIGAKU Journal v.8 H.Araki
  23. Element of X-ray diffraction B.D.Cullity
  24. Manual No. ME201PW5 Introduction manual for D/max system, Application software RIGAKU Coporation
  25. Semiconductor and Semimetals v.8 R.W.Willardson;Albert C. Beer
  26. J.J. Appl. Phys. v.30 J. Aguilar-Hernandez;G. Contreras-puente;J.M. Figuevoa-estrada;O.Zel-ayaAngel
  27. Photoelectronic Properties of Semiconductors R.H.Bube
  28. J. Phys. D : Appl. Phys. v.24 P.O.Vaccaro;G.Meyer;J.Saura
  29. J. Vac. Sci. Technol. v.B10 H.R.Vydyanth;J.Ellsworth;J.J.Kennedy;B.Dean;C.J.Johnson;G.T.Neugeb-auer;J.Sepich;P.Liao
  30. J. Appl. Phys. v.54 T.L.Chu;Shirley S. chu;Y.Pauleau;K.Murthy;E.D.Stokes;Phillip E. Russell
  31. Analytical Techniques for Thin Films A.Segmuller;M.Murakami
  32. J. Phys. v.D6 R.D.Greenough;S.B.Palmer
  33. J. Appl. Phys. v.60 J.K. Figuevoa-Estrada;F. Sanchez-Sinencio;J. Mendoza Alvarez;O. Zelaya Angel;C.Vazquez;J.S.Helman
  34. J. Appl. Phys. v.67 H.L.Cotal;A.C.Lewandowski;B.G.Markey;S.W.S.McKeever
  35. Phys. Rev. v.B1 A.Gavini;M.Cardona
  36. Soviet Physics Uspikhi v.11 B.A.Tavger;V.Ya. Demikhovskii
  37. Phys. Status Solid(B) v.126 A.Blacha;H.Presting;M.Cardona