Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)

The Korean Sensors Society (한국센서학회)
권호 표지

Substrate effects of ZnO films deposited by rf magnetron sputtering

고주파 마그네트론 스펏터링법으로 제조한 ZnO박막의 기판에 따른 효과

  • Kim, Y.J. (Dept. of Electronics, Kyungpook National University) ;
  • Kwon, O.J. (Electronics and Telecommunications Research Institute) ;
  • Yu, S.D. (Dept. of Electronics, Kyungpook National University) ;
  • Kim, K.W. (Dept. of Electronics, Kyungpook National University)
  • Published : 1996.11.30
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Abstract

ZnO thin films were prepared on glass and (012) sapphire substrates by rf magnetron sputtering. Polycrysralline ZnO films with a (002) orientation were obtained on glass substrates. (110) ZnO films were epitaxially grown on the (012) sapphire substrates. Surface acoustic wave properties were also measured for propagating along the c axis of ZnO film on the glass and sapphire substrates. The phase velocities ($V_{p}$) on glass and sapphire substrate at center frequency were 2680 m/sec and 5980 m/sec and the effective coupling coefficient ($k^{2}$) on the 0th mode were 0.98 % and 1.43 %, respectively.

고주파 마그네트론 스펏터링법을 이용하여 유리 및 (012)면인 사파이어 기판위에 ZnO박막을 제조하였다. 유리기판위에는 (002)면을 갖는 ZnO 다결정박막이 제조되었으며, (012)면인 사파이어 기판위에는 (110)면인 ZnO에 피택셜 박막이 제조되었다. 유리 및 사파이어 기판위에 제조된 ZnO박막의 표면탄성파 특성을 조사하였다. 유리 및 사파이어 기판에 대한 중심주파수에서의 전파속도는 각각 2680 m/sec 및 5980 m/sec였으며, 기본모드에서 구한 결합계수는 각각 0.98 % 및 1.44 %였다.

Keywords