Abstract
The amplitude LSF(Line spread function, $C_1e^{{o^2}{x^2}}$ or amplitude impulse) of the Gaussian apodized annular pupil is found to be same to that of the full aperture LSF($C_0e^{{o^2}{x^2}}$). $C_0$ and $C_1$ depending on $\sigma$, ${\omega}_0=\frac{2{\pi}}{\lambda}\;\frac{a_0}{l}$ and ${\omega}_0'=\frac{2{\pi}}{\lambda}\;\frac{a_0'}{l}$ which are the geometric parameter and pupil coordinates of the annular pupil. The important inequality relation among ${\omega}_0,\;{\omega}_0'$, a (fraction of diffraction amplitude) and $\sigma$ is obtained. It is $\frac{{\omega}_0}{\sqrt{2}}<{\sigma}{\le}(\frac{1-a}{2a})^{1/2}\;{\omega}_0$, and in the case of $a=e^{-1},\;a_0'{\le}0.34a_0$. The case of λ=0.013${\mu}{\textrm}{m}$, l=20 cm, $a_0=5cm$ and $a_0=0.34a_0=1.7cm$ give a Gaussian apodized superresolution ${\Delta}=\frac{\sqrt{log2}}{\sigma}=0.008{\mu}m$ annular pupil with the intensity signal equal to $e_{-2}$ times the signal obtainable by using the full aperture system(a=1)
Gauss 동함수 변조가 이루어진 윤대구경에서 얻어지는 LSF가 전 구경으로 구해지는 LSF( $C_{o}$ $e^{-{\sigma}}$$^{2}$$x^{2}$/)와 같다는 사실을 증명하였다. $C_{o}$ , $C_{1}$은 윤대의 기하학적 구조에 따라서 정해지는 정수이고 진폭 감소율을 .alpha.로 잡을 때 .omega./.root.2<.sigma..leq.(1-.alpha./2.alpha.)$^{1}$2/ .omega.$_{o}$ 의 조건을 얻었다. .alpha.= $e^{-1}$, .lambda.=0.013.mu.m (연 X-선)일 때, .alpha.$_{o}$ '.leq.0.34.alpha.$_{o}$ =1.7cm의 조건을 만족하는 초분해능 윤대구경계로서, l=20cm, .alpha.$_{o}$ =5cm(NA=0.25)일 때, 내경의 최대치 1.7cm보다 약간 작은 .alpha.$_{o}$ '=1.5cm의 반사경계를 제안하였다.
