Abstract
A compact excimer laser was developed with coaxial type which the one line cross flow fan is only used. At 1 kHz repetitive operation, average power of KrF laser is 56 watt. In this paper, Design parameter and CR characteristic are investigated for attainment of the compact 1 kHz excimer laser. We have obtained overall efficiency of 1.2% with KrF laser gas. At this time, CR and the variation of laser output are 2.97, $\pm$9%. Laser gas volume and active volume are 10 liter, 1.8(H)$\times$1.2(W)$\times$30(L)=64.8 ㎤, respectively.
레이저 가스를 하나의 횡류팬만으로 순환시키는 동심 원통형 구조의 소형 엑시머레이저를 개발하였다. 이 방치를 1kHz의 고속으로 반복동작시켰을 때 KrF 레이저의 평균출력은 56watt였다. 본 논문에서는 kHz급의 소형 엑시머레이저를 실현할 수 있는 설계 파라메터와 레이저 가스의 CR(Clearing Ratio)특성을 분석하였다. 평균출력 56watt일 때 레이저 효율은 1.2%, CR은 2.97, 출력변동율 .+-.9%이다. 이때 레이저 가스용적은 10 liter이고 방전체적은 1.8(높이)*1.2(폭)*30(길이)=64.8$cm^{3}$이다.