초록
SiC와 금속박막간의 계변형성 및 반응 생성물의 구조가 $5500^{\circ}C$에서 $1450^{\circ}C$의 온도 범위에서 조사되어졌다. SiC와 코발트간의 반응에 있어서 전형척인 반응충의 순서는 $1050^{\circ}C$에서 $1250^{\circ}C$까지의 온도 범위에서 CoSi/CoSi+C/CoSi/CoSi+C/ $\cdots$ /SiC이었고, SiC와 니켈간의 반응에 있어셔 전형적인 반응충의 순셔는 $950^{\circ}C$에서 $1050^{\circ}C$까지의 온도 범위에서 $Ni_2Si/Ni_2Si+C/Ni_2Si/Ni_2Si+C/ {\cdots} /SiC$이었다. 탄소의 결정화가 SiC / Co 반응에 있어서논 $1450^{\circ}C$ 이상에서 그리고 SiC/Ni 반응에 였어서는 $1250^{\circ}C$ 이상에서 바깐면으로 우선적으로 석출되였다. 또한, 탄 소석출거동을 동반한 주기적인 띠구조의 형성 기구가 열역학적인 고찰을 통하여 논하여졌다.
The interface formation and reaction-product morphology between SiC and thin metal films were studied at temperatures between 550 and $1450^{\circ}C$ for various times. The typical reaction layer sequence was CoSi/CoSi+C/CoSi/CoSi+C/ $\cdots$ /SiC reaction at 1050 and $1250^{\circ}C$ for 2 h, while $Ni_2Si/Ni_2Si+C/Ni_2Si/Ni_2Si+C/ {\cdots} /SiC$ at 950 and 105$0^{\circ}C$ for 2 h. Carbon precipitated preferentially on the outer surface and crystallized as graphite above $1450^{\circ}C$ for SiC/Co reaction zone and $1250^{\circ}C$ for SiC/Ni. The mechanism of the periodic band structure formation with carbon precipitation behaviour was discussed in terms of thermodynamic considerations.