Korean Journal of Materials Research (한국재료학회지)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Growth of ZnO Thin Films Deposited on the Sapphire Sustrates

사파이어기판 상의 ZnO 박막 성장에 관한 연구

  • Published : 1996.03.01
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Abstract

R-sapphire 기판위에 rf magnetron 스퍼터 방법으로 ZnO 박막을 증착하여 박막의 증착변수에 따른 결정성장방향과 SAW 특성을 분석하였다. 증착온도, 압력, rf 전력에 의해 박막 성장면이 (002)에서 (110)으로의 전이가 관찰되었다. 5mTorr, 40$0^{\circ}C$, 250W의 rf 전력에서 가장 우수한 (110)방향의 에피 ZnO 압전 박막의 SAW 특성을 분석하기 위하여 제작된 마스크를 사용하여 IDT를 구성한 후 SAW 특성을 분석한 결과 h/λ=0.08의 조건에서 전단속도가 약 5232m/s로서 고주파용 SAW 필터의 제조에 적합한 특성을 보이고 있다.

Keywords

References

  1. 電通學會資料 v.CPM 88-27 湯原章綱
  2. Jpn. J. Appl. Phys. v.32 J.Koike;K.Shimoe;H.Ieki
  3. Ferroelectrics v.42 T.Mitsuyu;O.Yamazaki;K.Ohji;K.Wasa
  4. J. Vac. Sci. Technol. v.6 no.1 G.A.Rozgonyi;W.J.Polito
  5. IEEE J. Quantum Elec. v.QE-23 no.7 M.S.Wu;T.Shiosaki;A.Kawabata
  6. J. Appl. Phys. v.62 no.6 M.S.Wu;A.Azuma;T.Shiosaki;A.Kawabata
  7. J. Electrochem. Soc. v.127 no.8 C.K.Lau;S.K.Tiku;K.M.Lakin
  8. Appl. phys. Lett. v.36 no.4 S.K.KiKu;C.K.Lau;K.M.Lakin
  9. Zinc Chemicals J.G.Noltes
  10. Organometallic reactions v.53 M.E.Volpin;I.S.Kolomnikov
  11. Reactor Kinetics and Reactor Design J.B.Butt
  12. Proc. IEEE Ultrasonics Symp. M.Lewis
  13. Material Letters v.21 Y.J.Kim;H.J.Kim