Korean Journal of Materials Research (한국재료학회지)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Preparation of $\textrm{TiO}_2$ Thin Film by Electrochemical Method

전기화학법을 이용한 $\textrm{TiO}_2$ 박막의 제조

  • Gong, Pil-Gu (Department of Inorganic Materials Engineering, Seoul National University) ;
  • Lee, Jong-Kook (Department of Materials Engineering, Chosun University) ;
  • Kwak, Heo-Seop (Department of Chemical Engineering, Dae-Bul University) ;
  • Park, Soon-Ja (Department of Inorganic Materials Engineering, Seoul National University) ;
  • Kim, Hwan (Department of Inorganic Materials Engineering, Seoul National University)
  • 공필구 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 이종국 (조선대학교 재료공학과) ;
  • 곽효섭 (대불대학교 화학공학과) ;
  • 박순자 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김환 (서울대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1996.10.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

전기화학법 중 음극환원법을 이용하여 0.005M TiCI4수용액으로부터 수화물 형태의 TiO2박막을 제조하였다. TiCI4수용액에 첨가제로 에탄올을 50vol% 첨가하여 균일한 박막을 얻을 수가 있었으며, 전류밀도와 시간에 따라서 박막의 두께와 미세구조가 변화하였다. 성장속도가 큰 조건에서 얻은 박막은 균질성의 감소로 인하여 건조과정이나 열처리 중 다량의 균열이 발생하였다. 일정한 전류밀도ㅇ에서 반응시간의 증가에 따라 박막의 두께가 직선적으로 증가하였으며, 10mA/$\textrm{cm}^2$의 전류밀도에서 3분 동안 반응시켜 약 0.7$\mu\textrm{m}$ 두께의 우수한 TiO2박막을 얻을수 있었다. 이러한 박막은 80$0^{\circ}C$에서 한 시간 열처리 한 결과, rutile 단일상으로 결정화되었다.

Keywords

References

  1. Appl. Optics v.23 no.20 K.H. Guenther
  2. J. Appl. Phys. v.65 no.2 K. Fukushima;I. Yamada
  3. Thin Solid Films v.13 M.H. Francombe
  4. Appl. Optics v.18 no.18 B.E. Yaldas;T.W. O'Keeffe
  5. Thin Solid Films v.207 K.A. Vorotilov;E.V. Orlova;V.I. Petrovsky
  6. J. Am. Ceram. Soc. v.76 no.3 Y.J. Kim;L.F. Francis
  7. J. Electrochem. Soc. v.137 no.3 K.L. Siefering;G.L. Griffin
  8. Thin Solid Films v.226 L. Meng;M.P. Santos
  9. Am. Ceram. Bull. v.66 no.10 J.A. Switzer
  10. J. Electrochem. Soc. v.138 no.7 L. Gal-Or;I. Siberman;R. Chaim
  11. J. Am. Ceram. Soc. v.77 no.3 R. Chaim;S.A. Rockman;L. Gal-or
  12. Inorg. Chem. v.31 Y. Matsumoto;T. Sasaki;J. Hombo
  13. J. Am. Ceram. Soc. v.78 no.6 K. Kajiyoshi;K. Tomono;Y. Hamaji;T. Kasanami;M. Yoshimura
  14. J. Am. Ceram. Soc. v.76 no.10 P. Bendale;S. Venigalla;J.R. Ambrose;E.D. Vernic;J.H. Adair
  15. J. Electrochem. Soc. v.130 no.4 D. Tench;L.F. Warren
  16. J. Solid State Chem. v.90 T. Sasaki;Y. Matsumoto;J. Hombo
  17. J. Am. Ceram. Soc. v.73 no.8 K. Kajiyoshi;N. Ishizawa;M. Yoshimura
  18. J. Am. Ceram. Soc. v.73 no.8 S.E. Yoo;M. Hayashi;N. Ishizawa;M. Yoshimura
  19. J. Am. Ceram. Soc. v.76 no.3 Y. Matsumoto;H. Adachi;J. Hombo
  20. Mat. Res. Bull. v.27 Y. Matsumoto;H. Adachi;J. Hombo
  21. J. Am. Ceram. Soc. v.78 no.4 Y. Zhou;R.J. Phillips;J.A. Switzer