저출력 마이크로파 유도 플라스마 방출스펙트럼의 특성과 $CO_2$ 분석

Characteristics of Low-power Microwave Induced Plasma Emission Spectrum and Detection of $CO_2$

  • 노승만 (한국표준과학연구원 화학.방사선연구부) ;
  • 박창준 (한국표준과학연구원 화학.방사선연구부) ;
  • 김영상 (고려대학교 화학과)
  • Noh, Seung Man (Division of Chemistry & Radiation, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Park, Chang Joon (Division of Chemistry & Radiation, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Kim, Young Sang (Department of Chemistry Korea University)
  • 발행 : 19960400

초록

기체 크로마토그래피와 쉽게 연결할 수 있는 Surfatron형의 MIP(Microwave Induced Plasma)용 cavity를 제작하고 헬륨, 아르곤, 질소 등을 플라스마 가스로 사용하여 플라스마를 생성시키고 스펙트럼을 비교하였다. 또한 헬륨과 아르곤, 질소에 미량의 CO2를 혼합하여 각 기체의 스펙트럼을 비교 분석하였으며, 제작한 MIP cavity가 질량분석기와 연결되었을 때 분자이온을 생성시킬 수 있는 이온원으로서의 가능성을 연구하였다. 헬륨과 아르곤 MIP는 높은 준안정 준위의 에너지를 가지기 때문에 분자들이 거의 다 깨어지므로 분자상태로 시료기체의 검출은 거의 불가능하였다. 그러나 질소는 다른 비활성기체에 비하여 낮은 준안정 준위의 어네지를 가지므로 검출하려는 기체성분이 상당부분 분자상태로 존재함을 알 수 있었다.

A surfatron-type microwave induced plasma (MIP) cavity has been constructed, which can be easily interfaced with a gas chromatograph. Various plasma gases such as He, Ar and N2 were used to generate the MIP and small amounts of CO2 gases were injected through the MIP to obtain characteristic spectrum of each plasma gas and to study feasibility of the MIP as a soft ionization source. Since He and Ar plasmas have high metastable state energy, it was not possible to detect sample gas in molecular state. With N2 plasma, however, a strong emission of molecular ions could be detected owing to its low metastable state energy.

키워드

참고문헌

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