Anti-reflection coating for Thermochromic Thin Films

써모크로믹 $\textrm{VO}_2$ 박막의 anti-reflection 코팅

  • Park, Jun (Dept. of Elctromic Materials Eng. The University of Suwon) ;
  • Park, Eun-Seok (Dept. of Elctromic Materials Eng. The University of Suwon) ;
  • Lee, Moon-Hee (Dept. of Elctromic Materials Eng. The University of Suwon)
  • 박준 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 박은석 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이문희 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1997.01.01

Abstract

VO$_{2}$ 써모크로믹 원도우의 가시광 투과율을 높히기 위하여 내마모성이 우수한 SiO$_{2}$박막을 이용하여 AR(anti-rdflection)코팅을 하였다. 두가지 중요한 공정변수인 기판온도와 증착속도가 AR효과에 미치는 영향을 조사하였다. 그리고 SiO$_{2}$박막의 AR효과는 낮은 기판온도와 높은 증착속도에서 더 우수한 것으로 나타났으며, 이는 SiO$_{2}$AR 박막의 굴절율과 상관관계가 있는 것으로 나타났다. VO$_{2}$ 써모크로믹 유리 위에 SiO$_{2}$AR-코팅을 했을 때 약 30% 정도의 가시광 투과율의 향상이 있었다. 그리고 AR-코팅을 하지 않은 경우보다 더 뚜렷한 써모크로미즘을 나타냈다. 또한 천이온도는 7$0^{\circ}C$정도로 AR-코팅을 하지 않은 VO$_{2}$써모크로믹 유리의 경우와 같게 나타났다.

Keywords

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