Laser Damage Threshold Increase of A/R Coating Films for 200MHz AOM

A/R 코팅 변화에 따른 200MHz AOM의 laser damage threshold 증가

AOhf(Hcousto-r)l)tic niodulator) with :!OOlIiz freclucncl- and Sfi(;(Seconrl harmonic generation) green lasel-Lvith 53% nm wavelength were used for Il\'IIII~Dii.it,ii v~ilco disk recorder) FOI rhe appli~aptin of high densit]. optical recording, a high po\ver I ~ c r is r c ~ ~ l i ~ i l - u l ic I !tic. s\-sti,m a n d optic.,~I io;iting l,t)c>rs of each optical device must have a high laser damage threshoid hie rn;itie ant] retlwtive coatings on a $TeO_{2}$ singlc crystal. which is used as an acoustooptic material, by E-beam evaporation method. Laser damage threshold \vas nicdsureci hy Ar laser with the input power oi 0.55LV 1,aser damage threiholti 01 $ZrO_{2}$ and $SiO_{2}$. filn-is were higher than $AI_{2}O_{3}$ f i l m U'e also investigated a long--tern1 stability of the output po\ver of St{(; green laser

200MHz 응향광변조기 (AOM: Acousto-Optic Modulator)는 제 2고조파(SHG: Second Harmonic Generation)녹색 레이저와 함께 DVDR(Digital Video Disk Recorder)에 적용되어 고밀도 광기록용으로 사용되었다. 이러한 고밀도 광기록 장치로써 사용되기 위해서는 고출력 레이저의 사용이 필수적이며, 레이저 빔이 통과하는 각 광학 소자들의 코팅막은 고출력 레이저 빔에 대해 높은 레이저 damage threshold를 가져야 한다. AOM의 음향공학재료로 사용되는 $TeO_{2}$단결정에 코팅막의 종류 및 증착조건을 변화시키며 E-beam 증착법으로 A/R코팅 시편을 준비하였다. 0.55W의 입력 power를 갖는Ar레이저를 사용하여 코팅의 광손상 정도를 확인하였다. $AI_{2}O_{3}$막에 비해 $ZrO_{2}$와 $SiO_{2}$막을 사용한 경우 레이저 damage threshold는 크게 향상되었다. 또한 AOM모듈을 제작 후 구동회로와 연결하여 약 20mW의 SHG power를 입력시키며 출력 power long term안정성을 측정하였다.