Korean Journal of Materials Research (한국재료학회지)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Adhesion of DLC Films on the Various Substrates by PECVD Method

PECVD법으로 제조된 DLC박막의 기판에 따른 접착력에 관한 연구

  • Choe, Won-Kyu (Dept. of Metallurgical and Materials Science, Hong Ik University) ;
  • Choi, Woon (Dept. of Metallurgical and Materials Science, Hong Ik University) ;
  • Kim, Hyoung-June (Dept. of Metallurgical and Materials Science, Hong Ik University) ;
  • Nam, Seung-Eui (Dept. of Metallurgical and Materials Science, Hong Ik University)
  • 최원규 (홍익대학교 금속.재료 공학과) ;
  • 최운 (홍익대학교 금속.재료 공학과) ;
  • 김형준 (홍익대학교 금속.재료 공학과) ;
  • 남승의 (홍익대학교 금속.재료 공학과)
  • Published : 1997.07.01
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Abstract

본 연구에서는 플라즈마 화학 증착법으로 기판에 따른 DLC 박막의 접착력 변화를 조사하였다. 박막의 분리가 발생하기 시작하는 경우의 두께를 임계두께로 정하여 스크래치 테스터로 측정된 임계하중과 더불어 박막의 잡착강도값으로 사용하였다. 다이아몬드상 탄소박막은 실리콘 기판에서 가장 우수한 접착력을 가지는 것으로 나타났으며, 크롬>티타늄>철>세라믹 기판의 순으로 접착력이 감소하였다. XPS, AES 분석을 사용하여 계면에서 결합구조와 결합형태 등을 관찰하여 접착력과의 관계를 조사하였다. 그 결과 다이아몬드상 탄소박막의 접착강도는 막/기판의 계면에서의 탄화물 형성에 영향을 받으며, 계면에서의 초기산화물층에 큰 영향을 받는것을 확인하였다.

Keywords

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