한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

  • 제7권10호
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  • Pages.914-918
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  • 1997
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  • 1225-0562(pISSN)
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  • 2287-7258(eISSN)
한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

투과전자현미경에 의한 $\textrm{Zn}_{1-x}\textrm{Co}_{x}\textrm{Se}$박막 및 (ZnSe/FeSe) 초격자 박막의 미세구조 분석

Micro structural Characterization of $\textrm{Zn}_{1-x}\textrm{Co}_{x}\textrm{Se}$ Epilayers and (ZnSe/FeSe) Superlattice by Transmission Electron Microscopy

  • 박경순 (충주산업대학교 재료공학과)
  • Park, Gyeong-Sun (Dept. of Materials Science and Engineering, Chungju National University )
  • 발행 : 1997.10.01
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초록

MBS에 의해(001)GaAs기판 위에 성장된 Zn$_{1-x}$Co$_{x}$Se(x=1.0, 7.4, 9.5 %)반도체 박막과 (ZnSe/FeSe)반도체 초격자 박막의 미세구조를 투과전자현미경을 이용하여 연구하였다. Zn$_{1-x}$Co$_{x}$Se 박막 시편의 경우, 박막과 기판 사이의 격자 불일치때문에 a/2<110>형태의 버거즈 벡터를 가지는 부정합 전위를 관찰하였다. 모든 Zn$_{1-x}$Co$_{x}$Se 박막과 기판의 계면은 뚜렷이 구별되었고, 계면에서 산화물이나 이물질이 존재하지 않았다. 또한, (ZnSe/FeSe)초격자를 성장시키기 전에 GaAs기판 위에 ZnSe바닥층을 넣음으로써 고품질의 (ZnSe/FeSe)초격자를 얻었다. (ZnSe/FeSe)초격자에 있는 FeSe는 섬아연광 결정구조로 존재하였다.

키워드

참고문헌

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