Resistance Modulation of $\textrm{LaCoO}_{3}$ by Ferroelectric Field Effect in $\textrm{LaCoO}_{3}/\textrm{Pb(Zr,Ti)O}_{3}/\textrm{(La,Sr)CoO}_{3}$ Heterostructures

$\textrm{LaCoO}_{3}/\textrm{Pb(Zr,Ti)O}_{3}/\textrm{(La,Sr)CoO}_{3}$다층구조에서의 강유전체 전계효과에 의한 LaCoO$_{3}$의 전항변조

  • Kim, Seon-Ung (Sung Kyun Kwan University Dept.of Materials Engineering) ;
  • Lee, Jae-Chan (Sung Kyun Kwan University Dept.of Materials Engineering)
  • 김선웅 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 1997.12.01

Abstract

강유전체 전계효과를 관찰하기 위해 LaCoO$_{3}$/Pb(Zr, Ti)O$_{3}$(La, Sr)CoO$_{3}$ 다층구조를 LcOo$_{3}$가 기판 위에 pulsed laser deposition(PLD)법으로 에피택셜하게 성장시켰다. 이러한 다층구조에서는 전도성 채널층으로 Si대신 반도성 LaCoO$_{3}$가 사용 되었다. LaCoO$_{3}$(LCO)의 비저항은 산소 분위기에 의하여 변화되었는데 특히 증착시 산소 분위기에 의존함을 보였다. LCO의 비저항은 0.1-100Ωcm범위에서 변화되었다. LCO층에 유도되는 강유전체 전계효과는 Pb(Zr, Ti)O$_{3}$(PZT)의 분극 상태에 따른 LCO의 저항 변화를 측정함으로써 관찰되었는데 1020$\AA$ 두께를 가진 LCO층에서는 4%의 저항 변화를 얻었으며 680$\AA$의 LCO에서는 9%의 증가된 저항 변화를 얻었다. DC 바이어스(-5V)를 가한 후에는 저항 변화가 45%까지 증가하였다. 이러한 결과는 적당한 비저항을 갖는 LCO를 사용한 LCO/PZT/LSCO다층구조가 강유전체 전계효과 트랜지스터로 사용될 수 있다는 가능성을 제시하고 있다.

Keywords

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