Analytical Science and Technology (분석과학)

The Korean Society of Analytical Sciences (한국분석과학회)
권호 표지

Analysis of multi-layered Surface with Glow Discharge-Mass Spectrometry

글로우방전 질량분석법을 이용한 다층박막의 표면 분석

  • Pak, Yong-Nam (Department of Chemistry, Korea National University of Education) ;
  • Lee, Gae-Ho (Department of Chemistry, Chungnam National University) ;
  • Kim, Hyo Jin (Department of Pharmacy, Dong Duck Women's University)
  • 박용남 (한국교원대학교 화학교육학과) ;
  • 이계호 (충남대학교 화학과) ;
  • 김효진 (동덕여자대학교 약학과)
  • Received : 1997.05.19
  • Published : 1997.10.25
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Abstract

A Griemm type Glow Discharge cell is attached to a commercial quadrapole based ICP-MS and used for the analysis of surface analysis. By employing 2.0mm diameter, mode and proper experimental conditions, several layers of few ${\mu}m$ thickness are analysed within 30 minutes. Multi-layers of Cu-Ni, Fe-Ni are analyzed with the resolution of 10nm by GDMS. Proper experimental conditions make a flat bottom crater shape and good resolution for multi-layer depth profile study.

Griemm 형태의 글로우방전셀을 상업용 사중극자 ICP-MS에 장착시켜 다층박막의 표면 분석을 시도하였다. 지름이 2.0mm인 양극과 적절한 실험 최적 조건을 사용한 결과 ${\mu}m$ 두께의 여러층들을 30여 분 이내에 분석할 수 있었다. Cu-Ni 및 Fe-Ni의 다층막을 GDMS로 분석한 결과 10nm정도의 분해능이 가능하였으며, 이는 바닥이 평평한 crater를 얻을 수 있는 실험조건에서 측정하였기 때문이다.

Keywords

Acknowledgement

Supported by : 과학재단