Abstract
The ZnS-SiO$_2$ composite films were fabricated by codeposition from two independent sources. The optical properties and microstructures of these composite films were investigated. The refractive indices of the composite films were compared those by Drude's fomula and showed a good agreement. it showed that microstructures of composite films are an armorphous. But microstructures of composite films with ion assisted deposition are changed from an armorphous to crystalline with increasing Zn mole fractions. We designed and fabricated a single layer antireflection coating on the crystalline silicon substrate using the refractive index of the composite films.
동시증착법을 이용하여 ZnS와 SiO$_{2}$를 증착시켜 혼합 박막을 제작하고, 제작된 ZnS-SiO$_{2}$ 혼합 박막의 광학적 특성과 결정구조를 분석하였다. 혼합 박막의 Zn:Si의 원소조성비에 따른 광학적 특성은 Drude 모델을 잘 만족함을 알 수 있었다. 이러한 혼합 박막의 굴절률 특성을 이용하여 단층의 무반사코팅을 설계.제작하였다. 한편, 이온 보조 증착하지 않은 혼합 박막은 비정질 구조를 보였으며, 이온 보조 증착한 혼합 박막은 Zn의 함유량이 43.0%, 56.6%일 때 결정질 구조를 보였다.
