초록
광학계의 결상성능평가는 optical transfer function(OTF)을 측정하는 것이 표준적인 방법으로 사용되고 있다. 그러나, 대량 생산되는 광학계의 경우에서는 측정의 편리함 때문에 test pattern을 투영하여 contrast를 검사하는 방법도 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 회절결상이론을 사용하여 주기적 line-space pattern에 대한 contrast transfer function(CTF)을 계산하는 프로그램을 개발하고, C계수와 Zernike 다항식으로 표현되는 3차 파면수차에 의한 광학계의 modulation transfer function (MTF)과 CTF 변화를 비교, 분석하였다.
The measurement of OTF(optical transfer function) is used for evalution of imaging performance of optical system as a standard method. In the mass-production, the contrast measurement of projected patterns is also popular because of its simplicity. In this study, a computer program which evaluates the CTF(contrast transfer function) of optical system for periodic line-space patterns is developed by using the diffraction imaging theory. The MTF(modulation transfer function) and CTF of an aberrated system are evaluated and analyzed for the third order aberrations expressed by the C-coefficients and the Zemike polynomials.
