Korean Journal of Materials Research (한국재료학회지)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrication of New Ti-silicide Field Emitter Array with Long Term Durability

Ti-실리사이드를 이용한 새로운 고내구성 전계방출소자의 제작

  • Jang, Ji-Geun (Dept.of Computer Engineering, Dankook University) ;
  • Baek, Dong-Gi (Dept.of Computer Engineering, Dankook University) ;
  • Yun, Jin-Mo (Dept.of Computer Engineering, Dankook University) ;
  • Yun, Jin-Mo (Dept.of Computer Engineering, Dankook University) ;
  • Im, Seong-Gyu (Dept.of Computer Engineering, Dankook University) ;
  • Jang, Ho-Jeong (Dept.of Computer Engineering, Dankook University)
  • Published : 1998.01.01
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Abstract

Si FEA 로부터 tip의 표면을 Ti금속으로 silicidation한 새로운 2극형 Ti-실리사이드 FEA를 제작하고 이의 전계방출 특성을 Si FEA의 경우와 비교하였다. 양극과 음극간의 거리를 10$\mu\textrm{m}$로 유지하고 $10^{-8}$Torr의 고진공 상태에서 측정한 실리사이드 FEA의 turn-on전압은 약 40V로, 전계방출전류와 정상상태 전류 변동율은 150V의 바이어스 아래에서 약 3x$10^{-2}$ $\mu$A/tip와 0.1%min로 나타났다. Ti-실리사이드 FEA는 Si FEA에 비해 낮은 turn-on 전압, 높은 전계방출전류 및 고내구특성을 나타내었다.

Keywords

References

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