Abstract
Phase transition kinetics of nonstoichiometric amorphous titanium oxide thin films deposited by reactive sputtering was investigated after cooling down with various rate followed by l0min.-3hrs. annealing at $500^{\circ}C$~$600^{\circ}C$ After short duration and fast cooling. Magneli was the only crystalline phase because the oxidation rates of $TiO_{2-x}$, could be relatively slower than that of crystallization. When the films were cooled slowly between $500^{\circ}C$~$300{\circ}C$, Magneli was transformed into an anatase and stabilized, but directly into a rutile under fast cooling. Because the rutile also prevailed after cooling from $600^{\circ}C$, it was concluded that the rutile phase could be formed directly from Magneli as well as converted from the anatase. Changes in volume and surface morphology were observed related to crystallization and oxidation processduring heat treatment.
비정량적 조성을 가진 비정질 산화타이타늄 박막을 반응성 스퍼터링으로 제조한후, $500^{\circ}C$~$600^{\circ}C$에서 10분-3시간 열처리후 냉각속도를 달리하였을 때의 상변태과정을 고찰하였다. 10분-30분정도의 단기간의 열처리후 급냉한 경우에는 Mageneli상이 관찰되어 비정상정 상($TiO_{2-x}$)이 산화되는 속도가 결정화속도보다 훨씬 느린 것으로 생각되었다. 그러나 열처리 유지시간이 증가하면 $500^{\circ}C$에서 부터의 느린 냉각과정에서는 Magneil가 anatase로 변화하며 변태한 anatase는 저온에서는 rutile로 변화하지 않았으나 $500^{\circ}C$~$300{\circ}C$의 온도 구간을 비교적 빠르게 냉각하면 Matneli상은 직접 rutile상으로 변화할 수 있는 것으로 고찰되었다. 또한 $600^{\circ}C$에서 냉각시에도 rutile상이 형성됨으로서 rutile상은 $500^{\circ}C$이상의 고온에서도 이 상ㅇ르 거치지 않고 변태할 수 있는 것으로 분석된다. 결정화 및 산화과정은 부피의 변화를 야기하여 박막의 표면 형상의 변화도 가져옴이 관찰되었다.