Abstract
Silicidation of the Co/Ti/Si bilayer system in which Ti is used as epitaxy promoter for $CoSi_2$has recently received much attention. The Co/Ti bilayer on the spacer oxide of gate electrode must be thermally stable at high temperatures for a salicide transistor to be fabricated successfully. In the $SiO_2$substrate was rapid-thermal annealed. The Sheet resistances of the Co/Ti bilayer increased substantially after annealing at $600^{\circ}C$, which is due to the agglomeration of the Co layer to reduce the interface energy between the Co layer and the $SiO_2$substrate. In the bilayer system insulating Ti oxide stoichiometric Ti oxide and silicide were not found after annealing.
최근 셀리사이드(salicide) 제조시 $COSiO_2$의 에피텍셜 성장을 돕기 위하여 Ti층을 삽 입한 Co/Ti/Si 이중층 구조의 실리사이드화가 관심을 끌고 있다. Co/Ti 이중층을 이용한 salicide 트랜지스터가 성공적으로 만들어지기 위해서는 gate 주위의 spacer oxide위에 증착 된 Co/Ti 이중층을 급속열처리할 때 Co/Ti와 $SiO_2$간의 계면에서의 상호반응에 대하여 조사 하였다. Co/Ti 이중층은 $600^{\circ}C$에서 열처리한 후 면저항이 급격하게 증가하기 시작하였는데, 이것은 Co층이 $SiO_2$와의 계면에너지를 줄이기 위하여 응집되기 때문이다. 이때 Co/Ti의 열 처리후 Ti에 의하여 $SiO_2$기판의 일부가 분해됨으로써 절연체의 Ti산화물이 형성되었으나, 이외의 도전성 반응부산물은 발견되지 않았다.
