Surface profiling by the phase shifting method in fiber-optical confocal scanning interference microscopes

광섬유 공초점 간섭 현미경과 위상 변위법을 결합한 표면 검색

  • 김대찬 (인하대학교 전자재료공학과) ;
  • 이승걸 (인하대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1999.06.01

Abstract

The fiber-optical confocal scanning interference microscope with a simple configuration was constructed with a 4-port fiber-optic coupler, and the new method based on the phase shifting method was proposed for surface profiling by the system. In the method, the height of a specimen was determined from the phase of confocal beam. It was verified experimentally that the method was applicable to even the confocal interference microscope with a long-wavelength source and a low NA objective, and that the scanning time could be drastically reduced compared with the conventional method. Finally, it was found that our method is less sensitive to the variation of surface reflectivity than the conventional method.

단일모드 광섬유와 결합기를 이용하여 간결한 구조의 광섬유 공초점 간섭 현미경을 구성하였으며, 위상 변위법을 응용한 표면 검색 방법을 제안하여 통신용의 반도체 레이저와 같이 비교적 긴 파장의 광원과, 낮은 NA의 대물렌즈를 사용하더라도 정밀한 시료 표면 검색이 가능함을 보였다. 이때 시료 표면의 높낮이는 시료로부터 반사된 빛의 위상으로부터 결정되며, 종래의 공초점 현미경에 비하여 주사시간을 크게 단축할 수 있었다. 끝으로 종래의 방법에 비해 제안된 방법은 시료의 반사율 변화에 덜 민감함을 확인할 수 있었다.

Keywords

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