반도체 및 박막의 두께 측정에 많이 이용되는 분광 타원해석기의 입사각을 정밀하게 보정하기 위한 방법을 제안하고 이를 실험적으로 확인하였다. 몇 종류의 광학유리를 이용하여 프리즘과 기판을 가공하였다. 프리즘의 꼭지각과 최소 벗어나 기각을 측정해 광학유리의 굴절률을 결정하였고 브루스터각(Brewster's angle)에서 측정한 유리기판의 타원해석 스펙트럼을 분석하기 위한 기준값으로 이 굴절률을 사용하여 분광 타원해석기의 입사각을 0.01도의 정밀도로 결정,보정하였다.
We proposed a new technique to precisely calibrate the angle of incidence in spectroscopic ellipsometer. The proposed technique can be useful to the thickness measurement of semiconductor thin films and optical thin films. The usefulness has been confirmed experimentally. We cut a block of optical glass into two pieces and made a prism as well as a slab using each piece. The apex angle and the angle of the minimum deviation of prism were measured. From these angles, the refractive index of glass material was calculated. From the analysis of the spectro-ellipsometric data collected near Brewster's angle, we could not only determine the error in the angle of incidence in the spectroscopic ellipsometer, but also calibrated the angle of incidence to the accuracy of 0.01 degree.
