Fabrication of a gaussian amplitude modulation plate and measurement of diffraction linewidth

가우스 진폭변조판의 제작 및 회절 선폭 측정

  • 송영란 (삼성전자주식회사 중앙연구소 정보미디어 Lab) ;
  • 이민희 (인하대학교 이과대학 물리학과) ;
  • 이상수 (한국과학기술원 물리학과)
  • Published : 1999.12.01

Abstract

The Gaussian impulse fUllction initially assumed in the inverse problem is $e^{-\sigma^2\chi^2}$. The modified Gaussian amplitude pupil function $e^{\frac-{\omega^2}{4\sigma^2}$ is obtained by the inverse Fourier transform of $e^{-\sigma^2\chi^2}$. A Gaussian amplitude modulation plate (GAMP) is designed and fabricated by using absorption and transparence glass which are the same refractive index. It is compared the experimental transmittance with theoretical that of GAMP. It is found that the linewidth of Gaussian optical imaging system obtained by wavelength is $0.365{\mu}m$ and NA is 0.07 is decrease 2/3 than that of Rayleigh.

가우스 함수 형태인 진폭임펄스 초기 함수 $e^{-\sigma^2\chi^2}$를 역푸리에 변환하여 변조된 가우스 동함수 $e^{\frac-{\omega^2}{4\sigma^2}$를 구하였다. 굴절률이 같은 흡수유리와 투명유리를 조합한 가우스 진폭변조판에 적용되는 설계이론을 유도하고 설계에 따라 가우스 진폭변조판을 제작하였다. 가우스 진폭변조판은 포물선 방정식형태로 제작하여 투과율을 측정한 뒤 설계이론에 따라 구한 값과 비교하였다. 파장이 $0.365{\mu}m$이고, 수치구경수(NA)가 0.07인 광학계에서 가우스 진폭변조판이 있을 때와 없을 때에 폭이 $60{\mu}m$인 단일 슬릿과 $25{\mu}m$인 단일 슬릿의 각각의 경우에 대해 회절 선폭을 비교하여 가우스 진폭변조판에 의해서 선폭이 2/3로 감소함을 확인하였다.

Keywords

References

  1. Introduction to Fourier Optics J.W.Goodman
  2. J. Opt. Soc. Am. v.39 H.Osterberg;J.E.Wilkins
  3. Appl. Opt. v.33 no.22 Zeljko Andreic
  4. Appl. Opt. v.36 no.9 Zeljko Andreic
  5. 한국광학회지 v.7 no.2 송영란;이민희;이상수
  6. 한국광학회지 v.8 no.1 송영란;이민희;이상수