Annealing effects of ZnSe epilayer grown by hot-well epiraxy method

Hot - wall epitaxy 방법으로 성장한 ZnSe 박막의 열처리 효과

  • Published : 2000.04.01

Abstract

The photoluminescened experiments at temperature of 10K were carride out for ZnSe epilayers grown by hot-wall epitaxy. The upper and lower polariton peaks of the neutral dound exciton $I_2$($D^{\circ}$,X) for as-grown epilayer have been dominantly observed.For the heat-treatment under Se ambient,the origin of $I_2$ emission is confirmed to be related to Se-vacancy.The extra neutral acceptor bound exciton $I_1$$^d$ is also observed.The ZnSe epilayer shows the self-compensation effect and it is hard to be converted into p-type ZnSe epilayer.However,the photoluminescence spectrum of the annealed sample in Se ambient shows the intense $I_1$$^d$ emission.This indicates that in the annealed ZnSe epilayer,there are many acceptor levels due to the opical p-type converstion. The binding energy of acceptor-impurity is ecaluated to the value of 268meV and the self-activated emission is disappeared by thermal annealing under Se ambient,which indicates the association with Se-vacancy.

우리는 hot-well epiraxy 방법으로 성장된 ZnSe 박막의 광발광 측정을 10 K에서 실행하였다. as-grown 박막은 upper polartion과 lower polarition으로 분리된 중성 도너(donor) bound exciton $I_2$($D^{\circ}$,X)가 아주 우세하게 관측되었고 Se분위기 열처리 결과 $I_2$기원이 Se-vacancy에 관련이 있음을 알았다. 또 중성 억셉터(acceptor) bound exciton $I_1$$^d$발광이 관측되었다. 그런데 ZnSe는 self-compensated에 의해 p-type 반전이 어렵다. 우리는 Se 분위기 열처리로부터 $I_1$$^d$ 봉우리가 아주 우세함을 보였다. 이것은 열처리한 ZnSe 박막에 억셉터가 풍부하게 존재한다는 것을 의미하며 결과적으로 광학적인 p-type 반전을 분명하게 관측 할 수 있었다. 또한 엑셉터 불순물의 결합 에너지는 268meV이였다. 장파장대에서 SA 발광은 Se 분위기 열처리 후 사라진 것으로 보아 Se-vacancy와 관련이 있는 것으로 고찰되었다.

Keywords