Korean Journal of Materials Research (한국재료학회지)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Magnetic Properties of $({Fe_{0.6}}{Co_{0.4}})_{89}$${Zr_{11}$/$({Fe_{1-x}}{Co_x})$$Zr_{11}$(x=0, 0.6, 0.9)Amorphous Multilayers

$({Fe_{0.6}}{Co_{0.4}})_{89}$${Zr_{11}$/$({Fe_{1-x}}{Co_x})$$Zr_{11}$(x=0, 0.6, 0.9)비정질 다층박막의 자기특성

  • Kim, Sang-Won (Research Institute of Industrial Science and Technology)
  • 김상원 (포항산업과학연구원 재료공정연구센터 금속·코팅재료연구팀)
  • Published : 2000.10.01
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Abstract

SAW 소자에 응용 가능한 자성박막재의 개발을 목적으로 RF 스퍼터링법으로 증착한 (Fe(sub)0.6Co(sub)0.4)(sub)89Zr(sub)11/Fe(sub)1-xCo(sub)x)Zr(sub)11(x=0, 0.6, 0.9)<원문잠조> 비정질 다층박막의 자기특성을 조사하였다. 수직자기장중열처리를 행하였을 때 상온에서 비자성 Fe(sub)89Zr(sub)11 층의 삽입에서만 다층박막화의 효과가 나타났다. 일 예로 (Fe(sub)0.6Co(sub)0.4)(sub)89Zr(sub)11(30${\AA}$)/Fe(sub)89-Zr(sub)11(40${\AA}$)<원문참조> 박막시편에 1kHz, 50 mOe의 여기자기장으로 평가된 최대 미분투자율${\mu}$(sub)d.max는 단층막의 750에서 1650으로 2배 이상 증가, 구동 바이어스자기장 Hw는 20 Oe에서 6Oe로 3배 이하로 감소하는 양호한 특성이 얻어졌다. 그러나 다른 중용 특성인 자왜는 34% 정도 감소하는 것으로 추정되었다.

Keywords

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