초음파의 안정한 발생은 주로 고주파의 에너지변환효율과 부하변화에도 안정된 출력을 얻을수 있는 요인에 의존한다, 본 논문에서는 고효율과 안정성을 갖는 초음파발생회로의 모델을 제시하고 설계하였다. 방법으로는 부하의 전압,전류의 위상차를 검출하여 발진주파수를 PLL에 의해 추종하게 하였고 출력단 전압과 전류흘 검출하는 방식으로 Multiplier를 사용해서 출력에 비례하는 신호를 얻어 사역폭을 조절해서 부하변화에도 출력이 안정되게 설계하고 회로의 해석결과를 시뮬레이션과 실험을 통해 확인하였다.
The generation of the intensive ultrasonic waves depend mainly on the energy conversion efficiency depending on high frequency oscillation of the generator and the control performance of stable output depending on load variation, respectively. In this dissertation, a new configuration of ultrasonic generator is specially proposed and designed for improving both efficiency and stability. The generating frequency is turned by a PLL. which is controlled through the detection on phase difference between outputs and currents of the loads and the output amplitude of MOSFET, Q1 are controlled by their products through the multiplier, which results in the control of the amplitude of voltage controlled oscillation. And finally, the proposed and designed ultrasonic generator is composed by the combination of the function in mentioned above. the analysis results of the proposed circuit shows a good agreement between simulations and experiments.
