In white light interferometry, fast and accurate localization of the fringe visibility is the most essential part in application of the principle. So much attention has been concentrated on speeding up the process, we in this study decided to investigate the results of the various peak-finding algorithms. Of the many approaches, two most simplistic algorithms were selected for their straightforwardness and robustness. Both were equally accurate in measuring the step height of a sample, but the method based on the weighted average technique proved to be truer to the surface topography. A model explaining the shortcomings of the correlation technique is presented. ented.
백색광 간섭계에서는 신속하고 그리고 정확하게 주사방향의 간섭무늬 봉우리점을 추출하는 것이 중요한 관건이다. 봉우리점 산출 속도 향상을 목표로 하여 많은 연구가 진행되어 왔지만, 본 연구에서는 가장 간단한 셈법을 이용하여 기준 시료가 얼마나 정확하게 재구성 되는가를 비교 검토하였다. 두 방법 모두 nm 수준의 정밀도로 단차를 측정할 수 있었는데 역상관을 이용한 셈법이 표면 구조나 수직한 면의 재구성에 더 충실한 결과를 산출함이 관찰되었다.
