Journal of the Korean Ceramic Society (한국세라믹학회지)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Preparation and Electrical Properties of $ErMnO_3$Thin Film Using Sol-Gel Process

Sol-Gel 공정을 이용한 $ErMnO_3$박막 제조 및 전기적 특성

  • Published : 2000.10.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Er(NO$_3$)$_3$.5$H_2O$, Mn($CH_3$$CO_2$)$_2$.4$H_2O$를 출발원료로 사용하여 졸-겔법으로 제조한 ErMnO$_3$박막의 열처리 온도 및 기판 배향성에 따른 박막 배향성과 누설 전류 특성에 관하여 연구하였다. ErMnO$_3$박막은 75$0^{\circ}C$ 이하의 온도에서 1시간 열처리 시비정질상태였으나, 78$0^{\circ}C$ 이상의 온도에서 hexagonal pahse인 ErMnO$_3$로 결정화되었다. 열처리 온도가 증가할수록 기판 배향성과 무관하게 모든 방향으로 결정이 성장함을 알 수 있었다. 결정화 정도와 결정 성장 축에 따라 누설 전류 값이 변화함을 알 수 있었고, 80$0^{\circ}C$에서 열처리한 시편에서는 누설 전류 변화가 비선형적인 경향으로 증가하였으며, $10^{-5}$ A/$ extrm{cm}^2$ 이하로 유지되었다.

Keywords

References

  1. Jpn. J. Appl. Phys. v.38 no.3 Structural and Ferroelectric Properties of Sol-Gel Deposited Nb-doped $Pb[(Sc_{\frac{1}{2}}Nb_{\frac{1}2{}})_{0.57}Ti_{0.43}]O_3$ Thin Films C. R. Cho;W. J. Lee;B. G. Yu;B. W. Kim;K. B. Park
  2. J. Am. Ceram. Soc. v.81 no.5 Microstructure and Dielectric Properties of YMnC Thin Films Prepared by Dip-Coating H. Kitahata;K. Tadanaga;T. Minami;N. Fujimura;Ito
  3. J. Euro. Ceram. Soc. v.19 Preparation an Dielectric Properties of $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Films by Sol-Gel Method T. Hayashi;T. Hara;S. Sawayannagi
  4. Jpn. J. Appl. Phys. v.38 no.11 A Study of Microstructure and Electrical Properties of $Pb_{0.8}La_{0.1}Ca_{0.}Ti_{0.975}O_3$ Thin Films prepared by Metal-Organic Decomposition Z. Song;X. Fu;J. Zeng;J. Gong;C. Lin
  5. Jpn. J. Appl. Phys. v.36 no.12 YMnO₃Thin Film Prepared from Solution for Non-Volatile Memory Devices N. Fujimura;H. Tanaka;H. Kitahata;K. Tadanaga;?. Yoshimura;T. Ito;T. Minami
  6. Jpn. J. Appl. Phys v.38 no.9 Lowering the Crystallization Temperature of YMnC Thin Fils by the Sol-Gel Method Using an Yttrium Alkoide H. Kitahata;K.Tadanaga;T. Minami;N. Fujimura;T. Ito
  7. Acta Cryst. v.16 On the Crystal Structure of Manganese(Ⅲ) Trioxides of the Heavy Lanthanides an Yttrium H. L. Yakel;W. C. Koehler
  8. Appl. Phys. Letters. v.69 no.7 Epitaxiall grown YMnO₃: New candidate for non-volatile memory devices N. Fujimura;T. Ishida;T. Yoshimura;T. Ito
  9. J. Euro. Ceram. Soc. v.19 Non Ohmic Begaviour and Switching Phenomena in YMnO₃Based Ceramic Materials C. Moure;J. F. Fernandez;M. Villegas;P. Duran
  10. J. Kore. Ceram. Soc. v.37 no.7 Preparation and Sinterability of Nano-Size TiO₂Powders Using Super critical fluids J. H. Song;J. S. Lee;I. S. Park;D. Y. Lim
  11. Appl. Phys. Letters. v.74 no.25 Memory Window of Highly C-axis Oriented Ferroelectric YMnO₃ Thin Films H. N. Lee;Y. T. Kim;Y. K. Park
  12. J. Euro. Ceram. Soc. v.39 Evolution of the John-Teller Distortion $MnO_6$ Octahedra in $RMnO_3$ Perovskies (R=Pr, Nd, Dy,Tb, Ho, Er, Y) : A Neutron Diffraction Study J. A. Alonso;M. J. Martinez-Lope;M. T. Casais;M. T. Fermandez-Diaz