Journal of the Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회지)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Silicon Micromachining Technology and Industrial MEMS Applications

실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS

  • 조영호 (한국과학기술원 기계공학과 마이크로머신 및 마이크로시스템)
  • Published : 2000.07.01
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Abstract

최근 첨단 미세가공기술로 주목을 받고 있는 실리콘 마이크로머시닝 기술과 이를 기반으로 한 산업용 MEMS 개발현황을 소개한다. 전반부에서는 마이크로머시닝 기술의 종류를 소개하고 각각의 기술에 대해 기술근원, 미세가공원리와 기본 가공공정을 간략히 요약한 후 기전 집적형태의 마이크로머신과의 연계성을 고려한 시스템적인 측면에서의 기술특성을 상호 비교한다. 또한 가공의 양산성, 재현성, 조립성 측면에서 마이크로머시닝의 가공성을 조명함과 동시에 향후 발전방향을 전망한다.(중략)

Keywords

References

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