Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)

The Korean Sensors Society (한국센서학회)
권호 표지

A Dissolved Oxygen Measurement System Using FET-type Dissolved Oxygen Sensor Array

FET형 용존산소 센서 어레이 측정시스템

  • Jeong, H. (Dept. of Sensor Eng., Kyungpook Nat'l University) ;
  • Sohn, B.K. (School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook Nat'l University)
  • 정훈 (경북대학교 센서공학과) ;
  • 손병기 (경북대학교 전자전기공학부)
  • Published : 2001.07.31
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Abstract

FET-type dissolved oxygen sensor has the Pt working electrode around the pH-ISFET. Appling a voltage to the working electrode, the hydrogen ion which is proportional to the dissolved oxygen concentration occurs around the pH sensing gate and we can measure the dissolved oxygen concentration by detecting pH concentration through the pH-ISFET. In this paper, a dissolved oxygen measurement system using FET-type dissolved oxygen sensor array which adopt a specific algorithm to enhance the reliability has been developed and we compared its performance with the commercial dissolved oxygen measurement system.

FET형 용존산소 센서는 pH-ISFET를 기본 소자로하여 pH 감지 게이트 근처에 백금으로 된 작업 전극을 형성한 구조를 가지고 있다. 작업전극에 특정한 전위를 인가하면 전기분해로 인하여 용존산소의 농도에 비례하는 수소 이온이 pH 감지 게이트 주변에 발생된다. 따라서 pH-ISFET를 통하여 수소 이온 농도의 변화량을 검출하면 용존산소의 농도를 측정할 수 있게된다. 본 논문에서는 이러한 FET형 용존산소 센서를 어레이 형태로 제작하여 적용하고 측정의 신뢰성을 높이기 위한 알고리즘을 도입한 FET형 용존산소 센서 어레이 측정 시스템을 개발하였다. 또한 상용 용존산소 측정기와 그 성능을 비교 분석하였다.

Keywords